世界三大cvd金刚石单晶制备方法(cvd大单晶金刚石 生产)

作者:材料资讯网 2024-06-16 14:53:48 598
摘要中国科学院宁波材料技术与工程研究所“功能碳材料团队”以实现金刚石精密工具国产化和产业化为目标。近期,致力于CVD(化学-气相-沉积.中国科学院宁波材料技术与工程研究所“功能碳材料团队”以实现金刚石精密工具国产化和产业化为目标,近期取得突破利用CVD(Chemical-Vapor-Deposition:化学气相沉积)合成单晶金刚石取得进展,团队从国内微波等离子体CVD设备的设计与改造入手,研制出高密度、高稳定性的金刚石沉积装置与国外设备相比,成本降低了30%,团队自主研发了金刚石生长工艺,即对籽晶进行特殊处理,在制备过程中严格控制生长参数,通过应用该工艺,实现了无色透明CVD单晶金刚石片的批量生产。在仅有氢气和甲烷的条件下沉积速率可达70m。 /h,掺入氮气后,速率达到150m/h,这也是国产设备的重大突破。此外,该团队还开发了一种创新工艺,可以控制单晶金刚石的边缘效应,消除在边缘生长多晶的缺点。因素,可以达到长时间生长高质量、大尺寸单晶金刚石片的目的,突破了传统方法需要多次切割、抛光、生长等繁琐工序的限制,实现了8x8x2 mm3(2.25 克拉)大钻石单晶的化学气相合成。上述成果正在转化为工业化生产,将为国产钻石精密加工工具乃至克拉级透明钻石、彩钻饰品的发展提供强有力的技术支撑。 (宁波材料技术与工程研究所)克拉级CVD块状单晶金刚石

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